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国内真空泵制造业的开展空间宽广

点击次数:1912 发布时间:2015-06-02

国内真空泵制造业的开展空间宽广

真空泵是一个量大面广的商品,产值很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备功能质量的必不可少的根底商品。真空泵从高/超真空到粗/低真空,其商品大致可分14大类:

高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、分散泵。

中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。

粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。

真空泵的商场依据用户的需求而发作动态改变。商场增加的主要驱动力来自于半导体工业的迅速开展以及干泵和分子泵使用范畴的日益扩大。

当前,全球真空泵商场的年销售额约20亿美元,年增加率在7%摆布。

中国出产真空泵的厂家很多,悉数真空泵的年销售额大约在1.5亿元摆布,仅相当于美国Kinney公司一家真空泵的年销售额。经过对全球真空泵商场的剖析咱们能够看出,各类真空泵的商场及使用范畴都在不断改变和开展。中国真空泵制造业有着悠长的前史和雄厚的根底,国产真泵现已在各个不一样范畴得到使用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国外用户的认可并受到好评,应该说中国真空泵制造业在国内外商场依然有着巨大的开展空间。

1.液环泵

尽管液环泵归于粗真空泵,但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等范畴依然有着很大的商场。在国外,液环泵的销售额占悉数真空泵商场的14%,仅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中国投资建厂或树立销售网络,不断扩大在中国的商场份额。因为液环泵大多数是铸件,加工需求也不高,属劳动密集型商品,所以国产液环泵在报价上有竞赛优势,关键是要改进设计,减小体积,减轻分量,进步功率,下降能耗。

2.滑阀泵

因为滑阀泵对比经用、牢靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及枯燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,可是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻觅合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际商场,必须进一步下降泵的振荡噪声,根绝喷油和漏油,进步滑阀泵长时刻运转的牢靠性。

3。直联旋片泵

跟着真空技术在各个使用范畴的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。因为这种泵数量很多,加工安装工作量很大,报价又很低,所以有的国外真空厂商在中国树立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,报价又远比国外的泵便宜,所以国产泵依然有竞赛优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片资料和真空泵油的功能质量问题,确保直联泵在高速、高温下功能稳定和运转牢靠,一起还要进一步进步国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

4。罗茨泵

从国外罗茨泵出产状况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超越5%,这5家总计才20%,罗茨泵产值不大,但国外罗茨泵的报价远比国产泵要高得多。当前,国内外几乎一切大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时刻、进步出产功率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵必定要在占据国内商场根底上设法进入国际商场,这样就必须进一步下降国产罗茨泵的振荡噪声,彻底解决轴封漏油问题,改进泵的外观质量,进步泵内的光洁度和清洁度。另外,还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在进步转速的状况下长时刻运转的牢靠性。

当前,国内气冷式直排大气罗茨泵开展很快,技术上现已成熟。因为这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体经过管道回来泵腔以冷却转子,从而使紧缩热得平衡,所以这种泵能够直排大气。为了满意不一样极限真空度的需求,这种泵能够串联使用,通常前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所到达的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种真空泵因为在泵腔内没有工作介质,实际上也是归于干泵。当前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组现已在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模仿等设备上得到了长时刻运转的检测,所以应该在国内大力推广和使用。

5.分子泵

分子泵在国外半导体范畴里的很多技术场合是用来替代低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等设备都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。

因为分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时刻比低温泵长。为了进步抽速,国外在分子泵的进口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,别的气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜设备上使用,既进步了出产功率又改进了膜层质量。跟着中国半导体工业、薄膜工业和科学研讨工作迅速开展,分子泵应该是中国真空泵制造业开展的要点。首要,分子泵要从小到大树立完好系列,并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满意不一样场合的需求。

6.干泵

国外干泵商场的不断增加,其主要驱动来自于半导体职业、化学工业、薄膜工业的迅速开展。在日本,半导体职业已悉数用干式真空泵替代油封式机械泵,欧美半导体职业45%以上用干式真空泵替代了油封式机械泵,大大进步了商品的功能和质量。为了满意不一样使用范畴和不一样工况的需求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,当前国产干泵的使用还缺乏1%,国内半导体工业用的干泵悉数从国外进口,其报价非常贵重。所以,中国应大力研讨开发干泵,使干泵变成中国真空工业新的经济增加点。

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